立柱
立柱结构:铸铁
立柱高度:900mm
立柱直线度:1.0µm/900mm
垂直轴与主轴轴的平行度:2µm/900mm
任意100mm范围内的直线度:0.3µm/100mm
指示位置不确定度:(0.3µm+0.03µm/mm)
速度范围(步进):0.5至20mm/s
主轴结构:空气轴承
主轴速度范围:仅顺时针2 rpm或6 rpm
主轴径向误差极限:表上高度+/-(0.02µm+0.0003µm/mm)
主轴轴向误差极限(MZ):0.06µm
中心和水平调节
定心范围:±5mm(自动调节)、±1mm(手动调节)
调平范围:+/-0.5°(自动调节)、+/-0.25°(手动调节)
工作台上方中性面高度:20mm(手动调节)
自动定心可达到的精度:<0.8µm(自动调节)
自动调平可达到的精度:<0.8弧秒(自动调节)
工作台直径:300mm(自动调节)、190mm(手动调节)